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- 1、椭偏仪测介电常数
椭偏仪测介电常数
具体而言,介电常数可表征电介质束缚电荷的能力,也可表征材料的绝缘性能,介电常数越大,束缚电荷的能力越强,材料的绝缘性能越好。测试方法主要有以下六种:集中电路法、传输线法、谐振法、自由空间法、六端口测量技术、椭偏仪法。其中前五种主要适用于频率较低的情况使用,而第六种测试手段可实现光波段的测试。
椭偏测量可取得薄膜的介电性质(复数折射率或介电常数)。它已被应用在许多不同的领域,从基础研究到工业应用,如半导体物理研究、微电子学和生物学。椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术,且具有非破坏性和非接触之优点。
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首先,铝的介电常数是固定的,可以通过测试得到电阻率,然后李工公式直接计算处理。其次,铝层的厚度如果在nm级别,可以用光学方法如椭偏仪,反射计等方法测试得到厚度。最后,就是台阶仪了,但要自己刻一个台阶出来,否则不能测。
铝层厚度可以用台阶仪来测量。台阶仪***用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号***集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,可以测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。
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(图片来源网络,侵删)
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